9861 系列高温质量流量控制器

9861 系列高温质量流量控制器

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2022-07-15 10:49:29
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河北泽叶科技有限公司

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产品简介

9861 系列高温质量流量控制器
型号 9861，布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表专为在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计，该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路，可确保兼容所有过程气体和蒸汽。

详细介绍

9861 系列高温质量流量控制器

获得 IsoSensor™ 是一种稳定性*的流量传感器，可兼容加热气体管线和烘干系统中苛刻的环境温度。IsoSensor™ 传感器的超低漂移性能可使高温应用无需频繁重新调零和重新校准。

9861 系列高温质量流量控制器

 9861
流量范围-满量程容量3 sccm – 10 slm (N2 equivalent)
表面抛光4µ inch Ra
精度±1% SP @ 35 – 100% FS

 

±0.35% FS @ <35% FS

重复性< ±0.15% FS
响应时间-常闭≤ 1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

 

 

模拟通讯0-5 Vdc
数字通讯RS485L Protocol

9861 系列高温质量流量控制器

特点

优势

应用

9861 系列高温质量流量控制器 

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