随着绿色能源太阳能的大规模开发利用，光伏电池原料多晶硅的用途越来越广泛，随着我国多晶硅总产量的逐年增多，多晶硅生产的副产物四氯化硅的安全和环保问题日益突出，如何安全处理四氯化硅已成为关系到多晶硅产业能否健康发展的关键问题。

我公司研究开发的新一代废气四氯化硅净化设备，四氯化硅是多晶硅生产中产生量较大的副产物，未经处理回收的四氯化硅是一种具有强腐蚀性的有毒有害液体，对安全和环境危害很大。我公司科技人员废气处理专题组经过多年的刻苦攻关，成功地将多晶硅生产线的副产物三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅，采用湿法回收成沉淀型二氧化硅和盐酸，既解决了环保问题，又将废物回收进行了再利用。

1、处理条件

主要成份为四氯化硅、三氯氢硅和二氯二氢硅。

2、处理结果

回收二氧化硅和盐酸，排放废气达到GB16297-1996排放标准。

3、本回收处理系统突出优势

我公司生产的本设备所转产的二氧化硅经国家有关检测部门检测，SiO2纯度达到99.65%。本项技术已获得国内独立知识产权保护，证号；ZL.4。

工艺组成

由蒸发分离工段、水解工段、吸收工段、压滤工段、干燥工段组成。

工作原理

（1）蒸发分离工段

液态的四氯化硅经加压泵从储罐泵入蒸发釜，釜下设蒸发器和再沸器，釜上为分离塔。蒸发器和再沸器外设夹套内设盘管，蒸汽在夹套和盘管内加热，四氯化硅在釜内气化。气态的四氯化硅通过再沸器的出口排出，经管道进入水解塔。

（2）水解工段

四氯化硅气体进入水解塔内与来自压滤系统的滤液进行反应。液相经雾化器雾化向下喷淋，与进入喷淋塔内的气态四氯化硅发生水解反应，生成硅酸、盐酸以及未*吸收的气体。硅酸与的固液混合物流到水解塔底部进入料浆池，经管道分批送至压滤系统；大量气体及少量硅酸去分离釜，使气体能够形成稳定的气流，去降膜吸收系统。

（3）吸收工段

自分离釜来的气体进入降膜吸收系统及填料吸收系统，吸收为不同浓度的盐酸。

（4）压滤工段

四氯化硅水解反应生成的二氧化硅和固液混合物经搅拌洗涤后进入压滤机中进行压滤，末了滤饼送干燥系统。

（6）干燥工段

在干燥工段将含有大量水蒸气及少量物料颗粒的滤饼进入干燥系统的旋风分离器和布袋除尘器。经过旋风分离器，固体物料进入储料池中，热空气向上运动再通过脉冲袋式除尘器回收小部分物料后达标排放。

选型说明

本系统需根据用户提供的四氯化硅成分、介质浓度、处理指标要求等进行设计，由我公司设计人员进行选型。

使用领域

本项成套设备用于多晶硅、单晶硅、太阳能发电、三氯氢硅合成等行业，处理四氯化硅、三氯氢硅和二氯二氢硅并回收再利用。