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| 型号 | SJ5718-PR | ||
| 轮廓 参数 | 测量 范围 | X轴 | 0~100mm |
| Z轴 | 0~300mm | ||
| Z1轴 | ±30mm | ||
| 分辨率 | X轴/Z1轴 | 分辨率0.001μm | |
| 测量精度 | X轴 | ±(0.6+0.02L) μm，（L，mm） | |
| Z1线性精度 | ±(0.6+0.05H) μm，（L，mm） | ||
| 曲率误差（直径） | ≤±（1.2+R/15）μm（R，mm） | ||
| 角度误差 | ±1′ | ||
| 移动速度 | X轴 | 0~20mm/s | |
| Z轴 | 0~20mm/s | ||
| 粗糙度参数 | 扫描速度（X扫描轴） | 0.05～5mm/s | |
| 直线度（X扫描轴） | ≤0.3μm/50mm，≤0.5μm/100mm | ||
| 测力 | 约30mN | ||
| 爬坡能力 | 上坡77º，下坡88º | ||
| 测量范围 | Z0轴 | ±20µm~±400µm | |
| 传感器类型 | 无轨式 | ||
| 适用测量范围 | Ra0.1μm~Ra64μm | ||
| 测力 | 约1~2mN | ||
| 分辨率 | Z0轴 | 分辨率0.001μm | |
| 测量精度 | 示值误差 | ≤±（5nm+2.5%A）μm | |
| 重复性 | ≤1nm（0.1-0.2μm方波粗糙度样块、标准台阶块) | ||
| 扫描速度 | 0.05～0.5mm/s | ||
| 残值噪声/残余轮廓 | ≤0.005μm | ||
| 测量参数 | R粗糙度： Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm, S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr, 核心粗糙度： Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo P轮廓参数：Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq, Pdc, PPc,Pmr, W波度轮廓参数：Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr Motif参数：R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CL | ||
| 滤波器 | 高斯滤波器、2RC滤波器，相位修正滤波器 | ||
| 滤波长度 | 0.08、0.25、0.8、2.5、8.0、25mm可选 | ||
| 评定长度 | λc×3、4、5、6、7、8可选 | ||
| 仪器尺寸（长×宽×高） | 800×450×1000（mm） | ||
| 仪器重量 | 约115Kg | ||
