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易生锈、广泛适用于各种气体预处理系统中。
可通过多级处理满足工况要求,产品无焊接部位,耐压性能、安全系数,适用于高压工况下的气体及
液体过滤,体积小,安装方便,为高压运行系统提供了相当高的技术和经济优势。
产品应用范围广,与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性;微纳米颗粒过滤能力保持高流
量效率,超小压降。