微操作低温和真空探针台系统，用于从3.5K到675 K温度范围的芯片、晶圆和器件测试。

Janis微操作探针台用于DC，RF和光纤探针的无损电气测试。它们在半导体、MEMS、超导、电子、铁电、材料科学、物理学和光学等各个领域都非常有用。 LHe / LN2或机械闭循环制冷机均可制冷。不同的模型将样品放置在超高真空（UHV），超高温（至675 K）和磁场中。

柔性探针针尖

Janis Research的低温探针台新技术具有特殊的柔性探针针尖，能够在变温测量过程中吸收探针臂的热漂移运动。

微型、可移动的样品真空腔

Janis还提供了一个微型、可移动的样品真空腔，能够需要在空气中移动的过程中将样品保持在真空状态。 真空腔可用于在真空下将晶片/基底从具有特殊环境的手套箱中转移到真空或低温微操作探针台（或真空腔）中，然后在进行准备完成或者测试后转移回手套箱中。可移动真空腔在装载和卸载时都能保护晶片/基底免受大气污染。

与普通的真空加载锁不同，真空腔具有以下功能和优点：

● 直径为50毫米，厚度为25毫米的标准尺寸

● 无需阀门

● 操作简单、方便

● 低成本

● 安装可移动的样品座时，无需提高低温探针台温度

CCR闭循环系列探针台

振动小于1 µm

温度范围（安装了4个探头臂）从4.5 K到350 K（可选：6.5 K到475 K或6.5 K到675 K）

最多可容纳2英寸（51毫米）直径的晶圆（可选：8英寸[200毫米]）（有关更多详细信息，请参见规格表）

多达八个冷却，易于互换的微操作探针臂

直流至67 GHz的电学测量

性价比高的LF探针，易于更换

三轴探头臂的泄漏电流非常低（在1 V时通常为1至2 fA）

非接触式，非破坏性的Kelvin探针

多头探针

带有单模和多模光纤选件的光纤探头臂

带有电缆和电线的附加电气穿通线到样品区域

可选的特殊微型真空腔，可将真空状态下的样品从手套箱转移到探针台

适用于所有单筒望远镜系统组件的精确平移xyz行程平台

可选的可移动样品座

客户定制选件

ST-500系列探针台

低振动和低位置漂移

温度范围为约3.5 K至475 K（可选：8 K至650 K）（取决于探头）

适用于液氮或液氦

氦气消耗量小于1 L / h

最多可容纳2英寸（51毫米）直径的晶圆（可选：8英寸[203毫米]）

多达七个冷却的、易于替换的微操作探针臂

直流至67 GHz的电学测量

多种性价比高的LF探针，易于更换

极低的三同轴探针臂漏电电流，仅为几fA

非接触式、非破坏性的Kelvin探针

多头探针

带有单模和多模光纤选件的光纤探头臂

通过样品架的可选光学通道，用于透射测量

到样品区域的带有电缆的附加电气馈通

可选的特殊微型真空室，可将真空下的样品从存储箱安装到探针台

适用于所有单筒显微镜系统组件的非常平稳的x-y-z行程平台

可选的可移动样品座

客户定制选件

在为现有的“湿式”探针台寻找无制冷剂的选择吗？可选的循环气体制冷机消除了在“湿式”系统中使用液氦的麻烦。