多晶硅作为制作太阳能电池的主要原料，近年来得到巨大发展。不管是改良西门子法还是硅烷法生产工艺中都存在大量过滤分离器，用于硅粉收集、氯硅烷循环洗涤、循环水再利用等工序。结合诸多项目经验，奕卿提出了自己的过滤工艺解决方案。

污染物及杂质：

1.未*反应的硅粉颗粒；
2.循环液带入的管道中的杂质；
3.进料带入的固体粉尘与杂质；
4.合成反应生成的固体杂质；

5.这些颗粒的存在是影响生产稳定、换热效率的重要原因。的过滤与分离装置不仅保护了生产设备的工艺安全，同时也提升了产品产量。

高温尾气净化

尾气过滤应用在多晶硅生产的各个工艺段,对多晶硅的生产起到重要作用,尤其目前行业低位运行期间,对多晶硅产品降低成本至关重要：

a.废气废液工位的烟气过滤；
b.还原炉尾气分离；
c.氢化炉尾气分离；
d.硅粉槽硅粉过滤等。

1、还原尾气分离

在SiCl4氢化气和SiHCl3还原气通过干法分离后，H2和HCl得以回收利用，在H2回用前需过滤气体中含有的未反应硅粉和生成的石墨粉，保证氢气纯净，使氢化反应和还原反应更稳定、。

2、废气、废液焚烧处理

在多晶硅生产工艺中，废气废液处理一直是困扰企业的难题之一。传统的喷淋处理工艺，处理成本高，浪费严重，环保问题严峻。

解决方案：

奕卿采用干法分离技术，将废气废液在炉内燃烧，生成SiO2粉末，通过分离收集SiO2粉末产生的经济效益。同时解决环保达标排放问题。

工艺优势：

1废气废液集中处理，工艺流程短，操作简单；
2回收的SiO2粉末产生的经济效益；
3气体经燃烧后，符合环保要求，可直接放空处理，经济环保。