Dffoz高浓度水中臭氧分析仪采用新的水中臭氧传感器技术,设计用来检测半导体湿法处理和其他工业领域高浓度水中臭氧检测。它可以为去离子水提供持续的臭氧测量,浓度高达150mg/L。 Dffoz(溶解水中全流量臭氧) 已经完成”预备清洁”,可以应用于高纯度的半导体过程,在线安装,流量高达150SLPM。

Dffoz采用新的水中臭氧传感器技术,设计用来检测半导体湿法处理和其他工业领域高浓度水中臭氧检测。它可以为去离子水提供持续的臭氧测量,浓度高达150mg/L。 Dffoz(溶解水中全流量臭氧) 已经完成”预备清洁”,可以应用于高纯度的半导体过程,在线安装,流量高达150SLPM。

Dffoz传感器结合料IN USA公司创新的双路取样传感技术(获得),达到了的性能和消除对参比气测量的需要。

Dffoz典型安装包括一个Dffoz传感器和一个控制器(Mini-Sci或者SCI-Mux),并通过7层Teflon线缆连接。

高浓度水中臭氧分析仪技术规格

传感器：Dffoz-D

◆    制造商: IN USA INC(美国)

◆    应用 ：高浓度水中臭氧连续测量

◆    测量原理 ：紫外吸收技术,双光路取样测量技术

◆    紫外线光源：低压汞灯

◆    测量单位 ：PPBw，mg/L

◆    量程 ： 可达到150mg/L

◆    精度：0.5mg/L或读数1%（取大者）

◆    流量：高达150SLPM

◆    压力：55PSI

◆    接口：1”, 3/4”,1/2, 3/8” “Flaretek” 接口（其它接口可定制）

◆    外壳：FRPP

◆    焊接材料：PFA，Teflon，蓝宝石，满足半导体制程序要

◆    尺寸：138 X 171 X 82mm

控制器：MiniSCI-N

◆    20位背光LCD

◆    分辨率：0.1mg/L或0.1ppm

◆    循环时间：每隔0.5秒持续测量

◆    模拟输出：4-20mA或0-10VDC

◆    数字 I/0：RS-232C

◆    诊断：内部诊断，报警提示

◆    远程自动校零：标准远程自动校零功能

◆    供电：90-240VAC  50/60Hz

◆    尺寸：143X 71X 241mm

◆    认证：CE