臭氧是一种强氧化性物质，被广泛用于水处理，半导体等行业。臭氧发生器能够产生20％甚至更高的浓度，过高的臭氧浓度对人体，设备和管道都是有害的，所以通常需要臭氧尾气处理设备来处理多余的臭氧。美国IN USA公司生产的臭氧尾气处理装置可以分解臭氧，使之达到安全浓度(0.1ppm/8Hr day)。IN USA尾气处理装置采用催化方式，它是一种类放热反应过程：

             O3 ®3/2O2DH=-34kcal

CAT臭氧尾气处理器催化剂参与反应但并不被消耗掉，它使反应速度加快。催化剂能提高效率是因为它可以反应所需要的激活能量，这种激活能量就是把臭氧原子带到反应区重组成氧原子所需要的能量。IN USA公司采用以MnO2为基础的化合物作为催化剂来实现这一功能，被催化的气体在固体表面实现重组。催化反应的效率跟温度，湿度等有关，也容易被一些化学物质干扰，产生中毒现象，从而降低了催化反应效率。有些化学物质，如卤素、碳氢化合物、硫、磷、NOx会被催化剂吸附造成不可逆转的反应从而使催化剂中毒，降低反应效率，减少使用寿命，所以在使用臭氧尾气处理装置前，确保这些物质已经被去除。

CAT臭氧尾气处理器预加热到100℃以上可以阻止NH3和水汽对设备造成的影响，可以获得额外的效果。水汽容易附着在催化剂表面从而降低使用效率，因为水汽附着在催化剂上容易使催化剂”蛋糕化”，造成*性流量阻塞，如果出现这种情况，就不得不进行再生。