1、真空泵的作业压强无须满足真空设施的极限真空及作业压强务求。如：真空镀膜务求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至多要5×10-6mmHg。通常取舍泵的真空度要高于真空设施真空度半个到一个单位级。

2、错误地取舍真空泵的作业点。每种泵都有定然的作业压强规模，如：放散泵为10-3~10-7mmHg，在那样宽压强规模内，泵的抽速随压强而变迁，其稳固的作业压强规模为5×10-4~5×10-6mmHg。因此，泵的作业点无须选在某个规模之内，而使不得让它在10-8mmHg下长期作业。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下作业，但其作业压强应小于1×10-5mmHg为好。

3、真空泵在其作业压强下，应能排走真空设施工艺内中中产生的全副气体量。

4、错误地组合真空泵。因为真空泵有取舍性抽气，因此，有时选用一种泵使不得满足抽气务求，须要多少种泵组合起来，相互补充能力满足抽气务求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但使不得抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称负极溅射离子泵）对氩有定然的抽速，两者组合起来，便会使真空安装失去较好的真空度。另外，有的真空泵使不得在大气压下作业，须要预真空；有的真空泵入口压强低于大气压，须要前级泵，旧都须要把泵组合起来运用。

5、真空设施对油净化的务求。若设施宽大务求无油时，无须选各族无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、高温泵等。那末务求不宽大，能够取舍有油泵，加上一些防油净化措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达成肮脏真空务求。

6、理解被抽气体成份，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒污垢，有无侵蚀性等。取舍真空泵时，须要晓得气体成份，对准被抽气体取舍相应的泵。那末气体中含有蒸气、颗粒、及侵蚀性气体，无须思忖在泵的进气口管路上衣置辅助设施，如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排进去的油蒸气对条件的莫须有如何。那末条件不容许有净化，能够选无油真空泵，或者把油蒸气排到露天。

8、真空泵作业时产生的振动对工艺内中及条件有无莫须有。若工艺内中不容许，应取舍无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价钱、运行及培修用度。