● 油回转真空泵、涡旋干泵
产品用途
● 管道与组件等各种部件的泄漏检查
● 真空设备的气密性检查
● 汽车部品、空调部品、热交换器部品的产品检査
● 食品，医药品等Package的密闭性检查
● 氦气、氢气的流量、透过量的计测
技术参数
● 检出气体 ：4He, 2H2
● Z小可检漏量[4He][Pa・m3/sec]：<5E-13Pa・m3/sec
● 漏率表示范围[Pa・m3/sec]：
4He：ULTRA 0.01E-12~E-6Pa・m3/sec
4He：FINE 0.01E-10~E-5Pa・m3/sec
4He：GROSS 0.01E-8~E-3Pa・m3/sec
2H :FINE 0.01E-8~E-5Pa・m3/sec

● 油回转真空泵、涡旋干泵
产品用途
● 管道与组件等各种部件的泄漏检查
● 真空设备的气密性检查
● 汽车部品、空调部品、热交换器部品的产品检査
● 食品，医药品等Package的密闭性检查
● 氦气、氢气的流量、透过量的计测
技术参数
● 检出气体 ：4He, 2H2
● Z小可检漏量[4He][Pa・m3/sec]：<5E-13Pa・m3/sec
● 漏率表示范围[Pa・m3/sec]：
4He：ULTRA 0.01E-12~E-6Pa・m3/sec
4He：FINE 0.01E-10~E-5Pa・m3/sec
4He：GROSS 0.01E-8~E-3Pa・m3/sec
2H :FINE 0.01E-8~E-5Pa・m3/sec