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晶体反射的摇摆曲线表示晶格的质量。这可以点下来进行快速检查，也可以与Mapping工具结合起来，得到一个质量图。
测量摇摆曲线意味着在Theta-scan模式下进行测量，这需要一个测角仪。一个双晶体被带入主光束路径，以减少光谱宽度和发散度。然而，其副作用是强烈的强度降低。因此，双晶体被安装在一个可伸缩的支架上，以便能够将其 "打开 "或 "关闭"。
Rocking curves of a 6H SiC crystal measured along a line on spots of 8 mm distance
