集成电路用EDI超纯水设备EDI膜堆主要由交替排列的阳离子交换膜、浓水室、阴离子交换膜、淡水室和正、负电极组成。在直流电场的作用下，淡水室中离子交换树脂中的阳离子和阴离子沿树脂和膜构成的通道分别向负极和正极方向迁移，阳离子透过阳离子交换膜，阴离子透过阴离子交换膜，分别进入浓水室形成浓水。同时EDI进水中的阳离子和阴离子跟离子交换树脂中的氢离子和氢氧根离子交换，形成超纯水(高纯水)。超极限电流使水电解产生的大量氢离子和氢氧根离子对离子交换树脂进行连续的再生。传统的离子交换，离子交换树脂饱和后需要化学间歇再生。而EDI膜堆中的树脂通过水的电解连续再生，工作是连续的，不需要酸碱化学再生。

集成电路用EDI超纯水设备产品特点：

1、整体化程度高 , 易于扩展 , 增加膜数量即可增加处理量。

2、自动化程度高 , 遇故障立即自停 , 具有自动保护功能。

3、膜组件为复合膜卷制而成 , 表现出更高的溶质分离率和透过速率。

4、能耗低 , 水利用率高 , 运行成本低。

5、结构合理 , 占地面积少。

6、*的膜保护系统 , 在设备关机 , 淡化水可自动将膜面污染物冲洗干净 , 延长膜寿命。

7、系统无易损部件 , 无须大量维修 , 运行长期有效。

8、设备设计有膜清洗系统用阻垢系统。