测量参数

Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、RPc、RSm、Rmr（c）、tp、Rmr、Rpm、

Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、R△q、R△a、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2

Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr（c）、Pmr、Pz1max、PzJIS、

Pδc、P△q

传感器

检测原理

电感式

测量范围

400μm

针尖半径

5μm

针尖材料

金刚石

触针测力

4mN

触针角度

90°

导头纵向半径

45mm

zui大驱动行程

19mm

量程和分辨力

量程

分辨力

±25μm

0.001μm

±200μm

0.008μm

波方式

2RC、GAUSS

取样长度

0.08mm，0.25mm，0.8mm，2.5mm

评定长度

1L ~ 5L（可选，L为取样长度）

示值误差

±10%

示值重复性

≤6%

工作环境

温度：0℃ ~ 40℃

湿度：＜90% RH

外形尺寸及重量

主机：155.4mm×75mm×53mm，约580g

驱动器：Ф26mm×132.5mm，约179g

电源

内置电池：锂离子充电电池

电源适配器：输入：100V ~ 240VAC，50/60Hz

输出：9V，3A