涡旋真空泵的特点

1) 结构紧凑，占地面积小，安装移动方便。

2) 工作真空区域宽,从极限真空至大气压均能高效工作，抽气效率高，可大大简化抽真空系统。

3) 泵腔里无润滑油,可获得清洁真空。

4) 噪音低，振动小。

5) 结构简单可靠，几乎可以免维护。

6) 风冷结构，无需冷却水冷却，应用范围更宽。

7) 绿色环保，无排污，无污染，无废弃排放处理成本。

涡旋真空泵的应用领域

涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:

1) 半导体行业: 薄膜制造设备、半导体器件封装设备。

2) 科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。

3) 机械设备行业: 材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料提纯设备、超高真空排气设备。

4) 医疗设备行业: 牙科仪器、; 生物制品行业:材料提纯与药品制备。

5) 包装行业: 食品、药品、生物制品等包装设备。

6) 真空冶金行业: 真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备等领域。

涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的配置。