“真空技术装备国家工程实验室”建设项目于2008年11月28日得到国家*正式批准，是目前我国真空领域*的国家工程实验室。该项目建设期为两年，项目法人单位是中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司，共建单位是北京中科科仪技术发展有限责任公司，合作单位是中国科学技术大学和东北大学。项目法人单位与共建单位、合作单位此前已有多年的合作基础，有利于该项目开展。

　　工程实验室的主要功能是：为以洁净真空技术为基础的*真空技术装备发展提供共性技术创新的中间实验验证平台；成为实现应用基础研究与产业化有机衔接的桥梁和纽带。建立工程实验室，将在国家层面上构建真空技术装备的技术创新和技术支撑体系，为集成电路、生物医药、高性能材料、重大科学装置等重点产业发展提供支撑和服务，并为真空产业发展提供具有自主知识产权的长期的技术保障，满足我国真空产业的长期发展以及国家战略需求。

　　工程实验室的主要任务是：通过建立超高真空、低噪声、低污染的洁净真空技术平台（包括真空获得技术与应用实验平台、真空应用实验与验证平台、真空密封技术与应用实验平台3个子平台和1个公共平台），解决洁净真空获得、洁净真空部件制备、洁净真空密封等关键共性技术，满足重点产业需求，使我国在真空领域有能力参与竞争。通过真空应用技术的突破，推进真空应用设备水平跨越2—3代。

　　工程实验室实行理事会领导下的实验室主任负责制，首届理事会理事单位包括：辽宁省*、沈阳市*、中科院计划财务局、中科院高技术局、中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司、北京中科科仪技术发展有限责任公司、中国科技大学、东北大学、沈阳真空技术所、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限公司。

　　工程实验室下设运营管理部、知识产权办公室、标准化办公室以及项目组。实验室拥有一支实力雄厚、结构合理、具有影响的研究队伍。项目将实施创新、开放、共赢的产学研长效合作机制，加快突破重点产业发展的瓶颈制约。