水厂臭氧发生器装置采用臭氧预氧化，将臭氧加入预臭氧接触池，主要杀灭藻类，提高絮凝效果，初步氧化分解水中大分子有机物和其他还原性物质，从而降低生物活性炭滤池的有机负荷；同时，臭氧氧化可以使水中难以生物降解的有机物断链开环，转化为简单的脂肪烃，改变其生化特性，避免预氯化产生消毒副产物。

　　臭氧后接触池加入臭氧主要用于氧化有机物(将大分子有机物变为小分子有机物，便于后续生物活性炭的吸附和降解)，杀灭细菌、病毒、病原体等。并为后续活性炭提供足够的氧源。臭氧氧能有效氧化水中的、苯、硫化物、氯等有毒物质。水中的可溶性有机物可以被快速吸附，同时可以富集微生物。有了臭氧产生的充足的氧源，炭床中的微生物可以以有机物为营养物质大量生长繁殖，使活性炭吸附的小分子有机物得到充分的生物降解。
 

　　臭氧为混合气体其浓度通常按质量比和体积比来表示。质量比是指单位体积内混合气体中含有多少质量的臭氧，常用单位mg/L或g/m3等表示。体积比是指单位体积内臭氧所占的体积含量或百分比含量，使用百分比表示如2%、5%、12%等。卫生行业常用ppm表示臭氧浓度，即每立方臭氧混合气体中臭氧占该体积的百万分之一为1ppm。臭氧浓度是衡量臭氧发生器技术含量和性能的重要指标。同等的工况条件下臭氧输出浓度越高其品质度就越高。