一、污染源分析

       1、废气产生位置：铜钨晶片氢fu酸研磨清洗时产生的酸雾。

       2、废气排放成份：酸性尾气。

      根据我司相关项目的工程经验经过比较，针对该公司的生产特点、规律及客户所提供的相关资料，类*业处理有机废气方法，并结合本公司多年处理废气的经验，我公司欲采用光解活性炭一体机来治理贵司的废气,设计风量：1500m³/h设备1套。

二、纳米光解活性炭一体机

纳米光解前段增加除湿器和纤维毡作为初效预处理部分，可将废气中的悬浮颗粒物水气雾捕捉下来，避免后段的光解元器件受到污染降低其性能，后端添加活性炭活性炭吸附并截留废气中其他物质，去除废气中酸性气味。

       1、UV光解废气处理设备利用紫外光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合，以TiO2作催化反应网。所用光主要为紫外光，可选用微波无极灯管或UV紫外灯管（灯管采用185nm波长及254nm波长，双波段灯管紫外线是电磁波的一种，原子中的电子从高能阶跃迁至低能阶时，会把多余的能量以电磁波放出，电磁波的能量越强，则频率越高，波长越短。紫外线灯的放电原理和节能灯放电原理一样，都是气体放电灯，气体放电过程中激发汞蒸汽，利用汞原子特性放射紫外线），使TiO₂催化剂在光的照射下激发产生电子-空穴对，吸附在半导体上的溶解氧、水分子等与电子-空穴作用，产生·HO等氧化性*的自由基，再通过与污染物之间的羟基加和、取代、电子转移等式污染物全部或接近全部矿化，处理效果尤为显著。

       2、纳米光学材料通过对紫外光的折射，使UV光解设备的处理效果倍增，能达到市面上普通光解设备性能的2倍以上，后端活性炭起到保护作用进一步对有机废气进行去除。

       3、此设计方案虽说初期投入比传统废气处理费用高些，但是后期给客户降低了高额的运行成本。

光解活性炭一体机技术特点

       1、工艺稳定：

该项目主体工艺酸雾废气采用：碱液洗涤除湿器＋纳米光解活性炭一体机的废气处理工艺，具

有成熟稳定、适应性强、安全高效等特点，运行费用低等优点；

       2、模块化组合、运维方便：

本项目依据废气特征及建设方现场生产状况，因此本工艺技术选择具有较强的针对性；同时

据现污染源分布状况采用模块化的设备组合设计，使设施运营灵活方便；

       3、针对性强：

本案针对废气特性，在设备材质、构造、品质及品牌选择上均进行了充分的论证，以超长的使用寿合、提高设备的运行稳定性及效能、降低设备的故障率。保证系统长期稳定运行。