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芬兰KxS 化学监测仪赫尔纳供应
芬兰KxS 化学监测仪赫尔纳供应,由赫尔纳德国总部直接采购,近30年进口工业品经验,原装产品,支持选型,为您提供一对一好的解决方案:货期稳定,快速报价,价格优,设有8大办事处提供相关售后服务。
公司简介:
KxS Technologies 随时帮助您满足过程监控需求,在每个阶段提供支持。从专家应用咨询和选择正确的解决方案到顺利启动和生命周期支持,我们都能满足您的需求。
芬兰KxS 化学监测仪产品型号:
DCM-10
芬兰KxS 化学监测仪产品介绍:
KxS 原位折射率:半导体工厂化学监测的行业标准。在平衡整个晶圆厂分销链中的半导体化学浓度测量的成本、速度和精度时,原位折射率已成为行业标准。借助KxS Technologies 的好解决方案和专业知识,体验化学监测过程中的精度和效率。
芬兰KxS 化学监测仪监测范围:
KxS 半导体 DCM-10 晶圆厂化学监测仪经过专业设计,可:
Ø 定义传入的清洁化学品浓度和原始 CMP 浆料密度。
Ø 在用于铜、钨和层间电介质平坦化应用的胶体二氧化硅型 CMP 浆料中实现并确保H2O2 浓度和去离子水稀释。
Ø 将浓度测量值与缓冲氧化物蚀刻 (BOE) 等工艺中的晶圆蚀刻速率 (ER) 相关联。
Ø 优化湿法带材旋压工具中蚀刻后残留物去除剂(例如 EKC265™)的镀液寿命。
芬兰KxS 化学监测仪监测种类:
我们的技术能够监测各种关键半导体化学品,包括但不限于:过氧化氢 (H2O2)、氢氧化铵(NH3水)、稀氢氟酸(HF)、磷酸 (H3PO4)、盐酸(HCl)、氢氧化钠 (NaOH)、硫酸(H2SO4)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、四甲基氢氧化铵 (TMAH)、异丙醇 (IPA)、氢氧化钾 (KOH)、硝酸(HNO3)、聚乙二醇 (PEG)、柠檬酸(C6H8O7)、乙酸 (CH3COOH)
芬兰KxS 化学监测仪应用领域:
我们的半导体工厂化学监测仪非常适合各种应用,包括:
Ø SC-1、SC-2 的化学混合校验
Ø 使用 NH3 水混合物进行硬掩模蚀刻
Ø 使用 50% KOH 进行硅湿法蚀刻
Ø 使用 H2SO4:HNO3:H3PO4 混合物进行钛蚀刻
Ø 使用 HF:HNO3 混合物进行背面多晶硅蚀刻
Ø 使用各种混合物进行 CMP 后清洁