臭氧是地球大气中一种微量气体，它是由于大气中氧分子受太阳辐射分解成氧原子后，氧原子又与周围的氧分子结合而形成的，含有3个氧原子。大气中90%以上的臭氧存在于大气层的上部或平流层，离地面有10～50千米，这才是需要人类保护的大气臭氧层。还有少部分的臭氧分子徘徊在近地面，仍能对阻挡紫外线有一定作用。但是，一些专家发现地面附近大气中的臭氧浓度有快速增高的趋势，就令人感到不妙了。虽然臭氧在平流层起到了保护人类与环境的重要作用，但若其在对流层浓度增加，则会对人体健康产生有害影响。臭氧对眼睛和呼吸道有刺激作用，对肺功能也有影响，较高浓度的臭氧对植物也是有害的。
臭氧的产生方式主要有：电晕法、电解法、紫外线法、核辐射法、等离子体法等等。食品、医院及制药等企业已经投入应用的臭氧发生技术主要有电晕放电法和电解法。
通常都借助无声放电作用从氧气或空气制备臭氧，臭氧发生器即根据这一原理制造。利用臭氧和氧气沸点的差别，通过分级液化可得浓集的臭氧。在紫外线辐射下，通过电子放射或暴晒从双原子氧气可自然形成臭氧。
工业上，用干燥的空气或氧气，采用5 ~ 25 kV的交流电压进行无声放电制取。另外，在低温下电解稀硫酸，或将液体氧气加热都可制得臭氧。
用过氧化钡与浓硫酸制臭氧:
电晕高压放电法
 电晕放电法产出臭氧的原理是两个平行的高压之间平行放置一个介电体（通常采用硬质玻璃或陶瓷作介电体也有用不锈钢），并保持一定的放电间隙，当在两极间通入高压交流电时，在放电间隙，形成均匀的蓝紫色电晕放电，空气或氧气通过放电间隙，氧分子受到电子的激发获得能量，并相互方式弹性碰撞，聚合成臭氧分子。
电解法
低压电解法产出臭氧的原理是采用低压直流导通固态膜电极的正负两极点解去离子水，水在特殊的阳极溶液界面上以质子交换的形式被分离为氢氧分子，氢从阴极溶液界面上直接被排放，氧分子在阳极界面上因高密度电流产生的电子激发而获得能量，并聚合成臭氧。电氧化法就是采样低压电解法。
 低压电解法臭氧发生器是以纯水为原料，是以固态的贵金属聚合物为电解质，结合阳离子交换模式，通过低压电解的方式获得臭氧，不需要任何辅助材料和添加剂，产出的臭氧浓度高达20%以上，产出的臭氧气体伴随物为氧，没有任何二次污染。这是目前世界上生产臭氧浓度的方法。 [4]  电解法制出的臭氧具有浓度高、成分纯净、在水中溶解度高的优势，在医疗、食品加工与养殖业及家庭方面具有广泛的开发价值。但与电晕放电法相比，电解法制臭氧量小，能耗大；而电晕放电法虽产量高、规模大，但气体需干燥，产出的臭氧浓度很低，电极易损坏，也存在诸多不足。因此开发电解法与电晕放电法的优势应用领域是当前需要解决的技术问题。