东莞合昌洁净室净化工程

净化工程

1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。 

2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。 

3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。 

4.净化在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。

东莞合昌洁净室净化工程

洁净室净化工程设计首先要了解所设计的洁净室净化工程的用途、使用情况、生产工艺特点等、比如设计的是集成电路生产用洁净室净化工程．首先要弄清楚产品的特性——集成度、持形尺寸和生产工艺特点；对洁净室净化工程的要求——空气洁净度等级、温湿度及其控制范围、防微振、防静电和高纯物质的供应要求等；其次要充分了解业主拟采用的生产工艺、工艺设备情况和对工艺布局的设想。在此之后，设计人员应协同业主确定洁净厂房各功能区的区划，确定各类生产工序(房间)的空气洁净度等级和各种控制参数——温度、相对湿度、压差、微振动、高纯物质的纯度及杂质含量；初步选择洁净室净化工程的气流流型并进行净化空调系统的初步估算及设计力案的对比、确定；进行洁净厂房的平面布置、空间布置，此时必须首先安排好产品生产区与个产辅助区t动力公用设施区的合理布局，通常是顺应产品的生产工艺硫程，在确保产品生产环境要求的倩况下做到有利于产品生产的操作、管理，有利于节约能源、降低生产成本。

在进行洁净室净化工程的平面布局时必须符合国家的现行规范中有关安全生产、消防、环保和职业卫生方面的各种要求；在进行洁净室净化工程平面布局时应充分考虑人流、物流的安排．尽力做到短捷、流畅。在空间设计时应分考虑产品生产过程和洁净室净化工程内各种管线、物流运输的合理安排。在确定洁净厂房的平面、空间布置后，对洁净室净化工程设计涉及的各个专业提出设计内容、技术要求及设计中应注意的相关问题。

化工程的控制洁净室中的温湿度控制 洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。 具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。