UV光氧废气催化氧化装置中对有机挥发性废气首要进行光解与催化氧化。光解首要是通过高能UV紫外线对空气中的氧气发作分化作用，推进氧分子分化变成游离态的氧，因为游离态氧上的正负电子处于不平衡状态，因而游离态氧极易与氧分子生成臭氧，而臭氧的强氧化作用可以推进有机挥发性废气的分化。在UV高效设备内安装着紫外线放电管，紫外线放电管发作的光子能量可以高达647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以迅速裂解小于该能量的有机挥发性废气的分子键，使其转变为无机小分子物质。

UV光氧废气催化氧化装置：使用小于280nm的波长，通常使用185nm的UVC紫外线光源进行废气处理。主要原理是短波紫外光子携带的能量很强。 315nm?280nm的中波紫外线的能量强度为3.94eV?4.43eV。 280nm?100nm的短波紫外线的能量强度为4.43eV?12.4eV。紫外线光子轰击有机物的分子链，使分子链断裂并断裂。有机成分会与氧气，臭氧等发生反应，产物为无害物质，例如CO2和H2O。

紫外线uv光氧催化设备除臭设备：类似于紫外线光解设备，也有一种光催化氧化技术。该设备使用光氧催化剂通过紫外线（通常是波长低于365 nm的光源）的照射产生电子空穴。吸附在电子空位分解催化剂的表面上的水产生羟基自由基或将周围的氧还原成活性离子氧，从而具有强的氧化还原能力并分解光氧化催化剂表面上的各种污染物。光催化氧化技术采用光源波长长，可散射距离长，有效净化面积覆盖的空间大，但光催化剂易中毒而失效的问题。

光氧催化技能是在外界可见光的作用下发作催化作用，以半导体及空气为催化剂，以光为能量，将有机物降解为CO2和H2O及其它无毒无害成份，废臭气体通过处理后可到达净化的更理想的作用。因为在光催化氧化反响过程中无任何增加剂，所以不会发作二次污染，运转本钱方面仅仅用到电能，无需常常替换配件，所以后期运行和维护成本也不高。