UV光解废气处理设备通过对废气成分，废气浓度以及风量大小的测量计算，调整喷淋塔和等离子废气处理设备的大小，让业主用合理的价格达到理想的处理标准。此法和前几种方法相比，处理效果更显著，设备运行成本低，操作简便。

废气源集气罩(搜集车间各个废气源的废气，接入主管道)喷淋吸收塔(吸收掉能溶于水的无机废气、粉尘以及颗粒物，降低废气温度，为等离子提供优良的运行环境)一级低温等离子处理设备(破坏废气分子结构，转化为无污染物质)高压风机(高压的吸力作用下将风抽出车间)净化吸收塔(进一步吸收粉尘以及颗粒物以及一些无机气体，水洗小分子碎片，利于检测达标)烟囱高空排放(也可低空排放)。

UV光解废气处理设备

优点：活性污泥经过驯化后，对不超过极限负荷量的恶臭成分，去除率可达99.5%以上。缺点：受到曝气强度的限制，该法的应用还有一定局限。

反应塔内装填特制的固态填料，填料内部复配多介质催化剂。当恶臭气体在引风机的作用下穿过填料层，与通过特制喷嘴呈发散雾状喷出的液相复配氧化剂在固相填料表面充分接触，并在多介质催化剂的催化作用下，恶臭气体中的污染因子被充分分解。适用范围：适用范围广，尤其适用于处理大气量、中高浓度的废气，对疏水性污染物质有很好的去除率。优点：占地小，投资低，运行成本低；管理方便，即开即用。缺点：耐冲击负荷，不易污染物浓度及温度变化影响，需消耗一定量的药剂。

低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

低温等离子体空气净化设备能够显著治理的污染有：VOC、恶臭气体、异味气体、油烟、粉尘，也可用于消毒杀菌。低温等离子体技术是一种全新的净化过程，不需要任何添加剂、不产生废水、废渣，不会导致二次污染。