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FT110电镀测厚机与以往的镀层厚度仪相同,适用于各种应用程序,同时通过增加新功能以提高可操作性和测量性能,从而大幅缩短从准备样品到完成所有处理的时间。提供符合客户需求的多种选配功能,可根据需要选择适合的仪器配置。
采用新功能,以提高可操作性
实现以往镀层厚度测量仪未能实现的测量位置功能,并大幅缩减条件设置等繁琐步骤。
可从整个样品(250mm*200mm)的广域图像中,一键测量位置。可通过与以前的狭域图像进行联动,以精确位置。多点测量的定位性能得到大幅提升。
对于存在阶梯或高度差的样品,可在3秒内自动调节摄像头的焦点(自动对焦),自动将光源移动至位置(自动接近)。(适用于80mm以内的阶梯或高度差)
对存在阶梯或高度差的样品采用自动对焦系统和新FP法,可以在不处理样品、不更改条件设置的情况下进行测量。(适用于80mm以内的阶梯或高度差。