SRP-4面铜探头
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1、膜厚仪专用SRP-4面铜探头是CMI563/CMI700专用的表面铜测试探头,SRP-4面铜探头由探针和探头线组成,探针使用寿命轻松达到30万次,当探针使用达到后,只需要更换探针即可,无需更换整条线组,大大的降低了客户使用成本。
2、参数:
精确度:化学铜:标准差0.2%,电镀铜:标准差0.3%
分辨率:0.1μm≥10μm,0.01μm<10μm,0.001μm<1μm,0.01mils≥1 mil,0.001mils<1mil
厚度测量范围:化学铜:0.25μm–12.7μm(10μin–500μin)
电镀铜:2.5μm–254μm(0.1mil–10mil)
线性铜线宽范围:203μm–7620μm(8mil–300mil)。