LatticeAx 420晶圆划片切割机

高精度压痕和切割系统

LatticeAx ® 420 是 LatticeGear 蕞高性能的切割解决方案。  LatticeAx ® 420 在 <5 分钟内提供 10-μm 的蕞高切割精度，使其成为重视速度和高精度同时需要适应各种样品尺寸、厚度和材料的实验室的理想选择。LatticeAx 底座与完整的视觉包集成在一起，其中包括一个具有 4 微米光学分辨率的单目显微镜、彩色 CCD 摄像头和实时图像采集和显示软件，以及一个 XY 平台。这款专用切割工作站的设计使任何用户都可以使用它来测量、对齐、微压痕、切割和检查处理过的样品。

优势

• 高精度定位微线压痕，在单个工具中实现高质量切割
• 快速样品处理提高实验室生产力
• 减少昂贵、高要求的样品制备工具的瓶颈
• 入门成本低，无服务成本
• 切割各种材料和样品尺寸
• 使用简单，符合人体工程学的设计，占地面积小

特征

• LatticeAx 120 基础工具的所有功能 
• 目标的高精度定位 (±10 µm)
• LatticeGear 定制：占地面积小，工业平台
• 带有粗调和精细调焦控制的调焦座
• 带彩色 CCD 相机的单目、齐焦、变焦镜头 (.58-7x mag)*
• 步长为 5 µm 的压痕位置控制
• 抛光尖金刚石压头
• 5 分钟处理样品设置
• 用于切割时钟刻度盘，以进行压痕校准

*不包括电脑和显示器