Meiritz主动气动悬架系统MRZ-200

MRZ-200Meiritz主动气动悬架系统MRZ-200

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具体成交价以合同协议为准
2024-05-04 09:06:00
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天津瑞利光电科技有限公司

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产品简介

产品介绍迄今为止，我们积累的知识已生产出600多种类型的被动隔振器

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产品介绍

迄今为止，我们积累的知识已生产出 600 多种类型的被动隔振器。对我们的主动隔振器的需求也在不断增长，尤其是在半导体等高精度制造行业。以MAPS系列为基础，开发出高性能合理的主动气动悬架系统MRZ系列。可应用于半导体设备、电子显微镜、测量机等。

性能特点
  • 每个单元有两个气压执行器：垂直和水平，可以体验良好的隔振、准确定位性能。
  • FB+FloorFF控制。
  • 实现轻巧紧凑，省电，价格合理。
技术参数
  • 产地:日本
  • 供给气压:0.6～0.8(洁净干燥空气)MPa
  • 典型耗气量:45-65l/min
  • 耗气量:120l/min
  • 电源电压:100～240(单相交流电，50/60Hz)V
  • 功耗:120VA
  • 环境温度:0～40℃
  • 相对湿度:35-85%RH
  • 隔振方式:通过气压控制隔振
  • 控制器尺寸:W435xD300xH118mm
  • 控制器质量:7.5kg
产品参数
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