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氦气纯度
工业氦
项目名称指标
氦气纯度：≥99%
氖（氢）、氧（氩）、氮、甲烷总含量，%≤1
水分含量，露点，≤-43℃
纯氦
项目名称指标
优等品一等品合格品
氦气纯度，%≥99.99599.99399.99
氖含量，ppm≤152540
氢含量，ppm≤357
氧（氩）含量，ppm≤355
氮含量，ppm≤101725
一氧化碳，ppm≤111
二氧化碳，ppm≤111
甲烷量，ppm≤111
水分含量，ppm≤101520
高纯氦气
氦气纯度>99.999%，
杂质含量（ppm）：
O2≤0.5，
N2≤1.0，
CO≤0.5，
CO2≤0.5，
CH4≤0.5，
H2O≤0.5，
Ne≤8.0；
超纯氦气
氦气纯度>99.9999%，
杂质含量（ppm）：
N2≤0.5，
O2≤0.5，
Ne≤0.5，
CO≤0.1，
CO2≤0.1，
THC≤0.1，
H2O≤0.2；
