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　　低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以也称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

　　该技术可广泛应用于石油化工、垃圾焚烧、制药、食品、污水处理厂、涂料、皮革加工、感光材料、汽车制造等诸多行业有机废气的治理以及采用其它方法很难解决的废气的治理。

　　等离子体中电子的温度远高于气体温度。因为外加能量直接作用于电子而不是作用于气体分子，因此电子温度可达1-10 eV，而气体温度可维持室温。低温等离子体可在大气压和低压下产生。工业应用中主要是在大气压条件下，离子除臭净化设备施加高压电场产生低温等离子体。

　　等离子体空间富集了大量极活泼的高活性物种，如离子、电子、激发态的原子、分子及自由基等。这些高活性物种在普通的热化学反应中不易得到，但在等离子体中可*地产生。对于有机物在等离子体中的氧化降解机理，反应主要有以下几个过程：

　　(1)高能电子的作用下强氧化性自由基O、OH、HO2的产生;

　　(2)有机物分子受到高能电子碰撞，被激发及原子键断裂形成小碎片基团或原子;

　　(3)O、OH、HO2与激发原子有机物分子、破碎的分子基团、自由基等一系列自由基反应。这些活性物种(特别是高能电子)含有巨大的能量，可以引发位于等离子体附近的催化剂，并可降低反应的活化能。同时，催化剂还可选择性地与等离子体产生的副产物反应，得到无污染的物质，离子除臭净化设备将有机物分子氧化降解为CO、CO2和H2O，从而*地去除异味。