低温等离子净化器一阶段：废气激发，解离和激活。 当施加的电压达到气体的放电电压时，气体被分解以产生电子，离子，原子和自由基的混合物，并且发生高能粒子与气体分子（原子）之间的非弹性碰撞。 将发生一系列过程，例如唤醒，解离，电离等，以将能量转化为在低温下激活气体的土壤状态分子（原子）的内部能量。

二阶段：活化废气的催化氧化和分解。 用高能量照射稀有金属氧化物，并且活化的废气在金属氧化物的表面上被氧化。 在产生水和二氧化碳时，废气中的氧与废气反应，并且废气被净化。

低温等离子净化器采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的离子起决定性的作用。流星雨状的离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。

低温等离子废气净化器的适用：

低温等离子废气净化器在居家、、工业领域均有应用，居家领域以单机类的家用空气净化器为市场的主流产品。主要的功能是去除空气中的颗粒物，包括过敏原、室内的PM2.5等，同时还可以解决由于装修或者其他原因导致的室内、地下空间、车内挥发性物空气污染问题。由于相对封闭的空间中空气污染物的释放有性和不确定性的特点，因此使用空气净化器净化室内空气是*的室内空气质量的方法之一。