低温等离子废气净化器一阶段：废气激发，解离和激活。 当施加的电压达到气体的放电电压时，气体被分解以产生电子，离子，原子和自由基的混合物，并且发生高能粒子与气体分子（原子）之间的非弹性碰撞。 将发生一系列过程，例如唤醒，解离，电离等，以将能量转化为在低温下激活气体的土壤状态分子（原子）的内部能量。

二阶段：活化废气的催化氧化和分解。 用高能量照射稀有金属氧化物，并且活化的废气在金属氧化物的表面上被氧化。 在产生水和二氧化碳时，废气中的氧与废气反应，并且废气被净化。

电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。

低温等离子废气净化器主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，顶部放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、高强度的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。