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美国 HVA 真空闸阀 21200 系列
美国 HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列特别适合 1x10^{- 9} mbar 高真空和烘烤温度不超过 150°C的应用。超长使用寿命1,000,000 启动次数。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵，离子泵等联用。

HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列产品特点
直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器。*的气缸设计使冲击和振动减少到小。HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁，因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易。HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界小的内部表面区域。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃，1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成，确保了阀门的大完整性。在保养方面，支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来。阀门手动、气动可选，标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期真空闸阀21200 系列可任意位置安装。电磁阀控制并带有手动超控。

HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列技术参数

阀门材质：
阀门主体	304不锈钢
焊接波纹管轴封	AM-350
驱动轴和驱动销	硬质不绣钢
密封件	氟橡胶
真空：
压力范围	1x10^-9mbar
漏率	< 2x10^-9mbar l/S
差压关闭	1 bar (任意位置)
开启前大压力	≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）：
佛橡胶密封	150 °c
驱动方式	手动 60 °c;气动 60 °c
使用寿命：1,000,000启闭次数
公称通径：DN16-320 mm

HVA 百万周期真空闸阀 21200 产品订货号及2D,3D图展示

DN		Model	KF/ISO-F		ISO-K		CF-F*
mm	inch	Number	3 (Bolted)		6 (Clamped)		0 or 4 (Conflat)
16	0.625	21212-006_	2D	3D	-		2D	3D
40	1.5	21212-015_R	2D	3D	-		2D	3D
50	2	21212-020_R	2D	3D	-		2D	3D
63	2.5	21212-025_R	2D	3D	2D	3D	2D	3D
80	3	21212-030_R	2D	3D	2D	3D	2D	3D
100	4	21212-040_R	2D	3D	2D	3D	2D	3D
160	6	21212-060_R	2D	3D	2D	3D	2D	3D
200	8	21212-080_R	2D	3D	2D	3D	2D	3D
250	10	21212-100_R	2D	3D	-		2D	3D
320	12	21212-120_R	2D	3D	-		2D	3D

HVA 百万周期真空闸阀 21200 产品部件图

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