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洁净室(亦称无尘室):空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
1、气流速度及其均匀度检测,这项检测是无尘室效果的其他各基检测的前提,这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。
2、系统或房间的风量检测。
3、室内洁净度的检测,洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别,可采用粒子计数器检测。
4、自净时间的检测,通过确定自净时间,查明无尘室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。
5、气流流型检测。
6、噪声的检测。
7、照度的检测,照度检测的目的是为了判明无尘室的照度水平和照度的均匀性。
8、振动的检测,振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。
9、温、湿度的检测,温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力,其内容包括检测无尘室的送风温度,检测有代表性测点的空气温度,检测无尘室中心点的空气温度,检测敏感元件处的空气度,检测室内空气相对温度,检测回风温度。
10、总风量和新风量的检测。
洁净室等级设计的差别在于洁净室与非洁净室的压差设计,高等级洁净室与低等级洁净室的压力设计。
流量 0.5 至1米/秒的外向气流,即可防止空气中悬浮的微粒通过孔口。产生该速率(<1pa)所需要的压降,低于目前的压降传感器精密度(其量程为+/-0.005 英寸或者+ /-1.2 pa)。
静压差的测定要求:
1,静压差的测定是洁净区内所有的门全关闭状态下进行的。
2,应从洁净度高到洁净度低的房间顺序进行,一直到直通室外的房间。
3,测管口设置在室内不受气流干扰的地方。
4,所测数据应精确到 1.0Pa。