反渗透高纯水设备系统，是制取超纯水设备常用的工艺，相对于反渗透+EDI超纯水设备比较便宜，其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏性。由于投资少很多客户都会选择此工艺，广泛用于电子，光电，半导体，电镀，锅炉用水等行业。反渗透+混床超纯水设备系统出水水质：电阻率≥10MΩ.CM,后面再加个精混床出水水质电阻率≥16MΩ.CM

反渗透高纯水设备系统工艺流程：

市政自来水 → 原水箱 → 原水泵→ 机械滤器→ 活性炭滤器→ 中间水泵→ 中间水箱→ 反渗透装置→ 高压泵→ 保安滤器→ 混床→ 纯水箱→ 纯水用水点

原水中含有多种杂质，如悬浮物、胶体、有机物和无机物。爲保证本系统中反渗透预除盐部分的正常运转，必须先去除水中的悬浮物、胶体、有机物等，使反渗透的进水达到要求，故本系统设置原水预处理部分。原水预处理部分包括机械滤器、活性炭滤器、保安滤器等装置

1、机械滤器：反渗透设备对进水的浊度有较高的要求，特别是反渗透进水的污染指数SDI值要求小于4，浊度小于1NTU。多介质滤器中的滤料包括五种规格的石英砂和无烟煤，用于除去原水中的悬浮物及脱稳后的胶体。在正常的使用时，水流速12.0m/h，机械滤器出力4.0m3/hr，送往活性炭滤器和保安滤器进一步处理作爲反渗透设备进水。

2、活性炭滤器：反渗透设备要求进水的余氯含量小于0.1mg/l，因此采用活性炭滤器脱除原水中的余氯，防止反渗透膜受到污染。同时可以进一步吸附原水中的有机物。活性炭滤器内填精制耶壳型活性炭，用于吸附原水中的余氯、有机物、部分色素和有害物质，降低化学耗氧量COD。活性炭被广泛应用于生活用水及食品工业、化工等工业用水的净化，由于活性炭的比表面积很大，其表面又布满了平均爲20—30埃的微孔，因此，活性炭具有很高的吸附能力。此外，活性炭的表面有大量的羟基和羧基等官能团，可以对各种性质的有机物质进行化学吸附，以及静电引力作用，因此，活性炭还能去除水中腐殖酸、富维酸、木质磺酸等有机物质，还可去除象余氯一类对反渗透膜有害的物质，防止反渗透膜被氧化。通常能够去除63%—86%胶体物质，50%左右的铁，以及47—60%的有机物质。 活性炭脱出余氯的过程是一个简单的氧化还原过程。此过程有可能使活性炭破碎，但破碎的活性炭并不影响脱出余氯的效果，因此活性炭脱出余氯的效果非常强。

3、保安滤器：保安滤器属于微滤设备，在预处理系统中起保险作用，当机械滤器工作状态不正常时把关，爲保证任何情况下都能够提供合格的供水,防止水中及管道中的微粒进入水泵和反渗透系统，特设置保安滤器作爲后的过滤装置。当滤器进出囗压差大于0.1Mpa时需更换滤芯（由于被过滤的介质直接进入到微孔滤膜的空隙中，因此很难通过酸碱清洗恢复通量）。滤器结构能满足快速更换滤芯的要求。