Physik Instrumente 压电工作台

Physik Instrumente（PI）GmbH & Co.KG 多年来，PI的产品一直以高品质和创新技术而著称。在提供产品质量的同时，PI更为用户提供创新的技术服务和完整的解决方案。从精密加工到数字与模拟控制电路，从亚纳米级的电容位置传感器到*的PICMA 压电陶瓷促动器，PI已掌握全套关键技术，强大的技术实力推动着微米纳米定位技术不断地向前沿发展，也使得PI成为众多高科技企业、实验室的合作伙伴。
今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

行程为50至1800微米
分辨率达0.1纳米
定位精度 0.02 %
带电容式传感器的直接计量
X、XY、Z和XYZ型

应用领域
干涉测量
显微镜
纳米定位
生物技术
测试程序和质量保证
光子
光纤定位
半导体技术
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、稳定性和千赫兹范围的带宽。

直接位置测量带来大精度
运动直接在运动平台上测量，*不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们和振动不敏感。它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

带Sub-D连接器（公头）的版本
P-620.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
P-621.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
P-622.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
P-625.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
P-628.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
P-629.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
带LEMO连接器的版本
P-620.2CL
精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
P-621.2CL
精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
P-622.2CL
精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
P-625.2CL
精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
P-628.2CL
精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
P-629.2CL
精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
不带位置传感器的线性定位器
P-620.20L
精密PIHera XY向纳米定位系统，60微米 × 60微米，不带传感器，LEMO连接器
P-621.20L
精密PIHera XY向纳米定位系统，120微米 × 120微米，不带传感器，LEMO连接器
P-622.20L
精密PIHera XY向纳米定位系统，300微米 × 300微米，不带传感器，LEMO连接器
P-625.20L
精密PIHera XY向纳米定位系统，600微米 × 600微米，不带传感器，LEMO连接器
P-628.20L
精密PIHera XY向纳米定位系统，1000微米 × 1000微米，不带传感器，LEMO连接器
17.05.2018
P-629.20L
精密PIHera XY向纳米定位系统，1800微米 × 1800微米，不带传感器，LEMO连接器
线性定位器，真空兼容达10-9百帕
P-620.2UD
精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕
P-621.2UD
精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕
P-622.2UD
精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕
P-625.2UD
精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕
P-628.2UD
精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕
P-629.2UD
精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-
9百帕

Physik Instrumente 压电工作台