汉钟PS系列螺杆真空泵特点：

1 排气路径短，减少反应物沉积

2线性密封性佳，泵性能*

3结构简单，故障率低，维修容易

4电机水冷设计，通过防爆认证，安全百分比

5 微电脑操作，远端监控，保护周全

上海汉钟干式真空泵 PS系列 
包括机型  汉钟真空泵PS80 ，汉钟真空泵PS160，汉钟真空泵 

PS180，汉钟真空泵 PS602，汉钟真空泵 PS902,汉钟真空泵 

PS1302,汉钟真空泵 PS1802
 
中国台湾汉钟真空泵PS系列产品特点
螺旋真空泵浦产品特色
汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺

旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无

需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密

封效果，*压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路

径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆

特殊材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。

泵浦温度控制精准 
汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦，承袭上一代真空泵浦优良

的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水套间接水冷的方式

来降低壳体的温度，能够更精准地控制泵浦内部温度，减少沉积物

的产生，增加真空泵浦的寿命。 

密封马达安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用设计的水冷罐装密封马达，除

了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外，也可*避免制

程气体外漏的风险。

微电脑控制保护周全 
PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流

、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高

低，提供真空泵浦完整的安全性保护，十分适用于光电、半导体、

太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求*之产业。

1. 新品真空泵 ：

   中国台湾汉钟螺杆式干式真空泵（hanbell),新品真空泵有德国

BECKER贝克系列真空泵，全新Edwards爱德华系列真空泵，具体品牌

型号咨询。

2. 二手真空泵：

   二手真空泵,有油式/干式/涡卷式/碳片式/冷冻式真空泵,真空系

统设备等，具体。

优势产品包括：
   汉钟PS1802，汉钟PS1302，汉钟PS902，汉钟PS602，爱德华RV12

，爱德华RV5，爱德华RV8，爱德华E2M18，爱德华E2M28，爱德华

E2M40，爱德华E2M80，爱德华E2M275，贝克U4.100，贝克U4.40，贝

克VT4.40，贝克VT4.8，纪维GWSP300，纪维GWSP600，纪维GWSP150

，莱宝D65B，莱宝D16B，莱宝D25B，阿尔卡特2033，阿尔卡特2021

，爱德华19号油，爱德华20号油，爱德华70号油，FOMBLIN25/6， 

FOMBLIN16/6，松村MR-200，松村MR-250，松村MR-100，杜邦1525，

爱德华油雾过滤器等