一、什么是超纯水：

    超纯水是为了研制超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，其电阻率大于18 MΩcm，或接近18.3 MΩcm极限值（25℃）。简单得说就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水  。这样的水是一般工艺很难达到的程度，理论上可以采用二级反渗透再经过串联的混合型交换树脂柱对二次反渗水进行处理，但是交换树脂的再生不便，质量难以保证。

二、为什么超纯水需要氮气保护：

    超纯水系统中为什么需要用氮封水箱?我们都知道空气中含有二氧化碳、细菌、尘埃等杂质，而超纯水为纯的溶剂，对这些杂质的溶解能力很强，故一旦超纯水与空气接触，就会使其电阻率迅速下降，实践证明15MΩ.cm以上的超纯水暴露在空气中1分钟后水质就会下降至3-4MΩ.cm，3分钟以后就会下降到2MΩ.cm左右。因此超纯水的储存容器需确保水体与空气的接触，而氮封水箱是常见，实施简单，效果好。

    超纯水氮封水箱是将一定量的氮气充入密封的水箱内，水箱内氮气压力不大于1Kpa，氮气是惰性气体能防止CO2等其它物质溶入水中影响水质，保证水箱内的水不受二次污染而导致水质下降。

三、超纯水的应用范围：

  1、电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。

  2、化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。

  3、单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。

四、氮封系统简介：

    LKZZYVP-16B超纯水水箱氮封系统阀由ZZYVP-16B供氮阀、ZZVP-16K泄氮阀和HXF-10呼吸阀三部份组成，形成二次保护装置。供氮阀一般设定压力1KPa，泄氮阀设定压力2Kpa，呼吸阀设定压力+3KPa/-298Pa。

1、供氮阀介绍：

    氮封系统是一套无需外加能源，利用被调介质本身压力变化而实现自动调节，使阀后压力恒定，整机具有动作灵敏、控制压力波动小、节约能源。它由供氮阀、泄氮阀和呼吸阀三部份组成，形成二次保护装置。

    LKZZYVP-16B超纯水水箱氮封系统阀是一套自力式微压力控制系统， 用于保持容器顶部保护气(一般为氮气)的压力恒定，以避免容器内物料与空气直接触，防止物料挥发，被告氧化，以及容器的安全。应用各类大型储罐的气封保护系统。当罐内压力降低时，供氮阀打开补充罐内氮气压力；当罐内压力超高时，泄氮阀打开自动泄压。始终保护罐内压力恒定。

    采用动力源与信号点分开检测的方法，外加可调节流装置，使整台阀门的调节精度大大提高，减压比最大可达2000:1。广泛应用于各种气体减压稳压的自动控制场合，特别适合作为氮封的供氮阀使用，具有持续供氮压力波动小、反应灵敏等特点。

2、泄氮阀介绍：

    主要用于超纯水箱氮封系统泄压用，当水箱内压力超高时，自动打开泄压，以保护水箱安全性，与呼吸阀的工作原理一致。

    它主要由执行机构、下阀盖、阀体、阀内件等部件组成。整体为内取压式，无需像供氮阀另接导压管进行压反馈。使用安全更方便。

四、超线水箱氮封系统整体工作原理：

    当储罐出水阀开启，放料时，液面下降，气相部分容积增大，罐内氮气压力降低，ZZYVP-16B供氮阀开启，向储罐注入氮气，罐内氮气压力上升，当罐内压力上升至供氮阀压力设定值时，供氮阀自动关闭。

    当储罐进水阀开启，进料时，液面上降，气相部份容积减小，罐内压力升高，当高于ZZVP-16K泄氮阀压力设定值时，泄氮阀打开，向外界释放氮气，罐内氮气压力下降，降至泄氮阀压力设定值时，泄氮阀自动关闭。

五、安装、维护与调试：

1、安装：

  （1）检查整机零件是否缺损与松动，对使用有害人体健康的介质，必须进行强度、密封、泄漏与精度测试。

  （2）在安装前，对管道进行清洗（否则由于焊渣等管道垃圾，损坏阀芯密封面，导致阀门不能正常工作），阀门入口处要有足够的直管段，并配有过滤器。阀体与管道的法兰连接，要注意同轴度。

  （3）安装场地应考虑到人员与设备的安全，即便于操作，又有利于拆装与维修。

  （4）阀门应正立垂直安装在水平管道上，导压管必须安装在距离阀出口至少六倍于公称通径的阀后管道上。阀自重较大与有振动的场合，要用支撑架，尽量避免水平安装。

  （5）介质流动方向应与阀体上的箭头指向一致。因微压阀属于精密仪表，其中膜片直接承受介质压力，若阀门反装或管道有反冲压力，则膜片由于受压过高导致膜片损坏，阀门不能工作。阀门应在环境温度-25～+55℃场所使用。

  （6）为使自控系统失灵或检修阀门时，仍能连续生产，应设置旁路阀。

 2、维护：

  （1）清洗阀门：对清洗一般介质，只要用水洗净就可以。但对清洗有害健康的介质，首先要了解其性质，在选用相应的清洗办法。

  （2）阀门的拆卸：将外露表面生锈的零件先除锈，但在除锈前，要保护好阀座、阀芯、阀杆与推杆等精密零件的加工表面。拆装阀座时应使用专用工具。

（3）阀芯、阀座：二密封面有较小的锈斑与磨损，可用机械加工的方法进行修理，如损坏严重必须换新。但不管修理或更换后的硬密封面，都必须进行研磨。

（4）阀杆：表面损坏，必须换新。

（5）压缩弹簧：如有裂纹等影响强度的缺陷，必须换新。

（6）易损零件：密封垫片与O型圈，每次检修时，全部换新。膜片必须检查是否有可能发生裂纹、老化与腐蚀等痕迹，根据检验结果，决定是否更换，但膜片使用期一般最多2～3年。

（7）阀门组装要注意对中，螺栓要在对角线上拧紧，滑动部分要加润滑油。组装后应按产品出厂测试项目与方法调试，并在这期间，可更准确地调整填料压紧力与阀芯关闭位置。

3、调试：

    所需要压力值是对执行器顶部的调节螺杆或螺母的操作而得到调整，打开顶部的防尘盖，用扳手调整调节螺杆或螺母。顺时针方向旋转使设定压力增大，逆时针旋转则使设定压力减小。安装在微、差压调节阀后的压力表，可使工作人员借以观察调整后的压力设定值。

4、注意事项：

  （1）严禁调压阀安装后再进行焊接。

  （2）调压阀投入运行前特别注意冲刷、清洗管道，防止焊渣、污物、卡在节流口，破坏密封面。造成使用前密封面先损坏，调压阀失效的现象。

  （3）冲洗管道时应使调压阀处于全开位置，便于污物、硬渣通过。

六、订货时请注明下列内容：:

  （1）阀门型号

  （2）通径×阀座尺寸Kv值

  （3）阀体压力及连接形式

  （4）阀体和阀内组件的材料

  （5）阀特性及阀芯的形式

  （6）上阀盖形式

  （7）执行机构形式，是否带手轮机构及供气压力

  （8）正/反作用（气关式或气开式）

  （9）附件（带过滤器减压阀等）

  （10）特殊要求（禁水处理，禁铜等）

  （11）介质名称

  （12）正常流量及最大流量

  （13）介质压力，阀全开和全闭时阀进口和出口压力

  （14）介质温度和比重

  （15）介质粘度，是否