昆山国华等离子清洗设备广泛生活应用

要应用于实验、科研 、医学及小规模的生产领域。特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。控制 方式：手动或者自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙 组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。等离子体◎电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。◎射频电源（核心器件采用美国进口）◎气体质量流量计采用美国进口，由模拟量输入输出，量程为0-200sccm可在量程范围内无级调节、针阀等控制工艺气体流量。◎清洗完成有提示音◎反射功率过大报警◎工艺气体耗尽报警◎泵热过载报警◎反应仓泄露报警◎电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。◎反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极放置，间距可调。◎真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。◎真空泵可选配液位低报警装置

昆山国华等离子清洗设备广泛生活应用，等离子体的作用我们也介绍一下：

应用于半导体、微电子、COG前、LED制程、器件封装前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以生命科学实验等。该设备等离子体频率13.56MHz；射频电源功率0～600W可调。产品使用环境条件为洁净厂房和要求干燥的地方。

等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。就以下三个部分做一个陈述:

一、控制单元:

目前国内使用的等离子清洗机，包括国外进口的，控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

而控制单元又分为两个大的部分:1)电源部分:主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子，主要的功能作用，前面已经提到了，这里就不一一介绍了。2)系统控制单元:分三种，按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。

二、真空腔体:

真空腔体主要是分为两种材质的:1)不锈钢真空腔体，2)石英腔体。

三、真空泵:

真空泵分为两种:1 干泵、2)油泵