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晶圆瑕疵自动检测机简介
A1000为深圳荧鸿半导体外观瑕疵自动检测机，可自动化检测晶圆表面的微小瑕疵。每台晶圆瑕疵自动检测机配一台显示器，相关信息可直观明了查看。更多详细情况可咨询！
晶圆瑕疵自动检测机技术参数
| 1-1外围部件 | ||
| 1 | 机架 | 利用地脚杯调整机台高度 |
| 台板面到地面距离：1085±50mm | ||
| 2 | 上罩 | 采用钣金焊接而成，表面烤漆 |
| 3 | 内部 | 1、装有离子棒，消除静电 2、各滑轨及运动轴承具备防油装置 |
| 4 | 显示器 | 19.5英寸显示器，分辨率1920*1080 |
| 5 | 警示灯 | 三色灯(带蜂鸣器) |
| 6 | 门感应 | 门安全感应sensor |
| 7 | 急停 | 1个急停按钮 |
| 8 | 无尘等级 | Class 1000 |
| 9 | 电 | 电压：单相220V;电流：32A;功率：6KW;数量：1路； |
| 10 | CDA | CDA气管管径：10mm;数量：2根；压力：6kg/cm2;流量：300LPM; 连接方式：快插 |
| 11 | PV | PV气管管径：10mm;数量，1根；压力： -80kpa;流量：300LPM; 连接方式：快插 |
| 12 | UPS | 具备UPS防断电装置，保护机台 |
| 13 | 设备接地 | 设备接地，保证标准AC接地<1Ω,辅助接地<4Ω |
