MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器-美国艾里卡特科技有限公司手机版

性能

可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
可调比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
可重复性：0.2%满量程
标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
气动阀漏气率（仅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦气）
无需预热时间

工作条件

兼容气体：98种（MCE/MCV系列）或130种（MCES/MCVS系列）预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至+60°C
内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

MCE或MCV系列包装清单：

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器（电源需另行订购）
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件

查找配置

型号变体

阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）
阀门内置并加装气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

另有：

阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)

阀门选项

您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持性能。

MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀
MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀

腐蚀性气体（MCES和MCVS系列）

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供选择。在该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO配件）
弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

流量累加器
集成式电位计控制
高精度或自定义校准

查看所有选择项目

MCE
MCES
MCV
MCVS

艾里卡特MCE系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量，适用于非腐蚀性气体。

MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D

艾里卡特MCES系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量，适用于腐蚀性气体。

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MCES-5SLPM-D
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艾里卡特MCV系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量，适用于非腐蚀性气体。MCV还配有一个下游用的气动截止阀。

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艾里卡特MCVS系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量，适用于腐蚀性气体。MCVS还配有一个下游用的气动截止阀。

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反应溅射气体流量控制

以50ms控制响应速度精确控制真空室内反应气体的分压以避免靶件喷涂过度，良好的分辨率保证了适当的原子释放，气动截止阀确保无流量时的正向切断。

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升级您老旧的热式质量流量控制器只是我们艾里卡特简化真空镀膜所用的一种方式。

请访问我们的真空镀膜页面，以了解更多内容

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