VPSA制氧装置又叫低压吸附真空解吸制氧设备，主要由鼓风机、真空泵、冷却器、吸附系统、氧气缓冲罐、控制系统组成。是在低压条件下将空气中的氮气氧气吸入，吸附饱和后分子筛在真空的条件下解吸，将氮气从排放口排放，氧气进入提纯系统，分子筛不断的吸附解压从而循环制得纯度较高的氧气。
 

　　PSA制氧装置又叫变压吸附制氧设备，主要由空压机、冷干机、除油器、吸附系统、氧气缓冲罐、控制系统组成。其原理是利用分子筛对不同气体分子''吸附''性能的差异而将气体混合物分开。它是以空气为原材料，利用一种高效能、高选择的固体吸附剂对氮和氧的选择性吸附的性能把空气中的氮和氧分离出来。在常温常压的条件下，利用PSA专用分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，从而取得纯度较高的氧气。