光氧催化区工作原理：通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无味气体。采用C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化, 可灭，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子物质。在C波段激光刺激催化剂涂层产生活性，强化催化氧化作用。在分解过程中产生高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),臭氧对有机物具有的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有的清理效果。O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化, 裂解恶臭气体中的分子键，破坏的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及菌的目的。
       对于等离子光氧一体机的应用也比较广泛，主要运用在造纸业、制药行业、橡胶轮胎或者橡胶密封条生产车间、垃圾处理、皮革行业、印刷行业、香料生产业、饲料厂及农药生产厂等多个行业中的有毒有害气体、恶臭和异味的处理，等离子氧一体机对部分行业的净化效率在95%左右。