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面议恒温真空匀胶机/控温型匀胶机/真空匀胶烤胶机Spin Coater
恒温真空匀胶机烤胶机Spin Coater 产品简介:
主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。
可以完成有机物的匀胶。(摄氏温度200度以下)。
完成匀胶时,还可以完成烤胶。
采用空间式加热的控温型匀胶机,可以进行边加热边旋转的控温匀胶操作,对提高胶体流动性,加速溶剂挥发,匀胶后直接烤胶等操作提供了便利的解决方案。
控温精度高、重复性好,技术*,性能优良。
标配4英寸真空吸盘,加热速度快,控温精度高。不同尺寸基片为保证紧密接触加热转盘,可定制设计更换。
恒温真空匀胶机烤胶机Spin Coater 特性:
1、空间式恒温加热,室温-200℃。精度0.1℃
2、可以完成有机物的匀胶。(摄氏温度200度以下)
完成匀胶时,还可以完成烤胶。
3、可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程。
4、每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态;
5、可以控制加速度
6、平稳转速,预设值与实际值误差率1‰。有视频为证(如想观看视频,请联系我)
7、端跳1mm的±2.5%
主要特点:
高精度多程序控制器:
可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程。
每个涂敷工艺过程可以设置25步不同的匀速度状态;
加速度及负加速度可自主控制。
液晶显示屏可以实时显示:
1. 第N个涂敷工艺过程
2. 所处工作段
3. 真空吸片状态。
4. 设置时间;及实时运行时间。
5. 设置速度;及实时速度状态。
中英文两套操作系统供选择。
人机交互式对话,简洁,明了。
仪器真空吸片系统更安全:
旋涂仪安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,
必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。
频伺服电机,转速精度更高:
300 - 10000转/分,转速稳定性:+ - 0.1 %
转速10000转/分
不锈钢机壳 聚四氟(塑料王)材质工作腔
不锈钢机壳,外表面洁净光亮。美观,方便清洗。
温度控制系统 :
工作腔内板式加热体,加热均匀。
控制温度范围:室温--摄氏温度200度。
聚四氟(塑料王)材质工作腔
技术参数:
单相交流电源:220V.50Hz
电机功率:150W
旋转真空吸盘直径:4英寸(102mm,标准配置)
可选择配置:基片直径10—200mm可接受订货。
转数:300 - 10000转/分。
可设定时间:1---9999秒。
控制温度:室温--摄氏温度200度。
控制精度:1摄氏度
标准包装:
结构尺寸:260mm宽x 350mm深x 260 mm高,
可选配件:
1、60升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盘
3、70升/分无油真空泵