气体动态校准仪报价
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气体动态校准仪是一台智能化在线气体校准仪器，由流量控制系统、气路控制系统和计算机控制系统组成。气体动态校准仪与标气、零气发生器可组成校准系统，通过调节稀释比例得到一系列浓度梯度的标准气体，用于对分析仪器进行校准。与传统的校准的方式相比，实现了自动化操作，序列化操作，节省了时间和标气，减少工作量。具备质量流量控制器的流量校准功能，序列设置功能，支持与分析仪器联动实现自动校准。
气体动态校准仪报价气体动态校准仪表格
项目 | 参数 |
稀释气体种类 | 高纯空气、高纯氮气 |
使用压力 | （0.1~0.3）MPa |
标气流量范围 | （0~100）SCCM； （0~1000）SCCM； （0~5000）SCCM，可选 |
稀释气流量范围 | （0~100）SCCM； （0~1000）SCCM； （0~5000）SCCM，可选 |
流量准确度 | ±1% F.S. （10 to 100 F.S.） |
流量重复性 | ±0.2%F.S. |
稀释比 | 根据流量计配置而定 |
标气入口数量 | 1个 |
标气输出接口数量 | 1个 |
标气输出接口 | 1/4’’管，英制 |
电源输入 | 220VAC，50Hz |
操作温度 | 5 ºC~35 ºC |
工作湿度 | 5%~95% RH |
通讯 | LAN；RS232 |
仪器尺寸 （6100-01；6100-02） | （469.1×178×600）mm（W×H×D） |
重量 （6100-01；6100-02） | 12 kg |
气体动态校准仪报价
气体质量流量计选型
方案 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | |
标气质量流量控制器量程（SCCM） | 100 | 100 | 100 | 1000 | 1000 | |
稀释气质量流量控制器量程（SCCM） | 100 | 1000 | 5000 | 1000 | 5000 | |
标气质量流量控制器 | zui小流量（SCCM） | 10 | 10 | 10 | 100 | 100 |
zui大流量（SCCM） | 100 | 100 | 100 | 1000 | 1000 | |
稀释气质量流量控制器 | zui小流量（SCCM） | 10 | 100 | 500 | 100 | 500 |
zui大流量（SCCM） | 100 | 1000 | 5000 | 1000 | 5000 | |
zui小输出流量（SCCM） | 20 | 110 | 510 | 200 | 600 | |
zui大输出流量（SCCM） | 200 | 1100 | 5100 | 2000 | 6000 | |
zui小稀释比 | 1:10 | 1:1 | 5:1 | 1:10 | 1:2 | |
zui大稀释比 | 10:1 | 100:1 | 500:1 | 10:1 | 50:1 | |
