半导体设备滤芯是用于半导体设备中对进入或排放的气体或液体进行过滤和净化的关键部件。它能够有效过滤微小颗粒、液滴和气味，并能去除空气和水分中的各种杂质和污染物，保护设备和制品的纯度和品质。
半导体行业作为高科技领域的重要组成部分，涉及到多个环节，其中制造环节尤为重要。在半导体芯片制造过程中，各种工艺步骤都需要使用高纯度的气体和液体，而这些关键材料的纯度直接决定了芯片的品质和性能。因此，对进入制造设备的气体和液体进行过滤和净化，是确保产品品质和工艺稳定性的重要保证。
半导体设备滤芯原理：
过滤器工作时，待过滤的水由水口进入，流经滤网，通过出口进入用户所须的管道进行工艺循环，水中的颗粒杂质被截留在滤网内部。如此不断的循环，被截留下来的颗粒越来越多，过滤速度越来越慢，而进口的污水仍进入，滤孔会越来越小，由此在进、出口之间产生压力差，当大度差达到设定值时，差压变送器将电信号传送到控制器，控制系统启动驱动马达通过传动组件带动轴转动，同时排污口打开，由排污口排出，当滤网清洗完毕后，压差降到小值，系统返回到初始过滤状，系统正常运行。过滤器由壳体、多元滤芯、反冲洗机构、和差压控制器等部分组成。
壳体内的横隔板将其内腔分为上、下两腔，上腔内配有多个过滤芯，这样充分了过滤空间，显着缩小了过滤器的体积，下腔内安装有反冲洗吸盘。工作时，浊液经入口进入过滤器下腔，又经隔板孔进入滤芯的内腔。大于过滤芯缝隙的杂质被截留，净液穿过缝隙到达上腔，后从出口送出。
半导体设备滤芯的类型和种类繁多，涉及到多种材质和过滤原理。常见的滤芯包括机械滤芯、活性炭滤芯和超精滤芯等。其中，机械滤芯利用过滤网和纤维材料过滤颗粒和液滴，适用于颗粒大小较大的气体和液体过滤。活性炭滤芯采用吸附原理去除杂质和气味，适用于净化空气和不易被捕捉的气体或液体。超精滤芯则是使用微孔石英或锆石等特定材料，过滤颗粒和液滴细小到纳米级别，可用于高纯度气体和液体的制造和输送。
在半导体设备中，滤芯的作用与价值不言而喻。半导体芯片的制造过程需要用到诸多高纯度气体和液体，如制作硅片时用的气体，制作光刻胶时用的液体及气体等等，若其中出现一些微小颗粒、烟灰甚至是空气杂质，就可能影响制造质量及成品的性能，因此在这个过程中使用滤芯是非常必要的。
