本系统主要由以下部分组成：

1.四组分配气混合装置

2.计算机与操作软件

   3.便携式湿度发生装置(选配，配好的标气经过该外设装置)

该多组分动态配气系统配置4路质量流量控制器，可实现2—4个组份气体混合配比。

系统数据库内有多达四五十种气体，使用时通过计算机直接调取选择。

混合气体*大流量：≈ 20 L/min。

配气通道：4路

多组份动态配气系统主要设备清单

1.   气体质量流量控制器（美国）

Model：F-201CV  Fluid：Air  Range：0.4…20Ln/min

Model：F-201CV  Fluid：H₂   Range：0.2…10 Ln/min

Model：F-201CV  Fluid：N₂   Range：0.1…5Ln/min

Model：F-201CV  Fluid：N₂   Range：0.1…5Ln/min

**度：±0.5%RD+0.1%FS

密封：Viton(耐高温氟素橡胶)

响应时间：1…2seconds

重复性：< ±0.2% Rd

量程比：1:50（数字模式为：1:187.5）

泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

电源：＋15…24VDC@320mA

使用温度：-10…70 ℃

压力灵敏度：0,1% Rd/bar typical N₂; 0,01% Rd/bar typical H₂

温度灵敏度：Zero：<0.05% Rd /℃; Span：<0.05%Rd/℃

输出：4…20mA and RS-232

2.   气路

整个多组分动态配气系统气路均采用防腐防吸附的316L不锈钢管或者聚四氟乙烯管,内表面光滑

3.   转子流量计

方便使用,配制出来多余的气体可以通过调节转子流量计直接排出.

4.计算机及系统软件

1)多组分动态配气系统通过触摸屏或者计算机操作,计算机需要另选配气软件。

2)四组分配气软件

多组分动态配气系统根据要求，可以设置钢瓶和对应的端口。并可以通过流量模式和浓度模式配气。通过软件自动计算，气体质量流量控制器自动调节控制气体流量，以实现气体配比浓度要求。

5.便携式湿度发生装置（选配）  

  该装置采用国际*新的加湿技术，管壳式的水分交换器，可以使水气在液态水和气体中传输。水分被管壁吸收后以蒸汽的形式传输到气体中。传输过程是由管壁两边水气分压差驱动。可以调节不同的湿度输出，同时实时显示湿度值。耐腐蚀,仅加湿,不改变气体成分,湿度范围：0-98%RH,较大流量：10 L/min, 气体压力：<20 psig