品牌
生产厂家厂商性质
所在地
功能特性：
技术成熟可靠
核心部件均为
配比精度高，响应时间段
模块化设计
HMI触摸屏，操作简便
内置MFC标定校准程序
技术特性：
质量流量计准确度：＜1%F.S
质量流量计重复性：＜0.25%F.S
零气流量：10sl/min
标气流量：100sml/min
标气入口：3通道
臭氧发生器输出浓度：5ppm/1slpm
操作温度：0-45摄氏度
*大稀释比：1000:1
响应时间：60s
电源：220VAC@50Hz
尺寸：440mm（宽）*178mm（高*420mm（深）（参考）
标准配置：主机一套、电源线一根、说明书一份
