AP160M-日本ace半导体自动调节压力控制器-秋山科技（东莞）有限公司手机版

详细介绍

日本ace半导体自动调节压力控制器AP160M

半导体自动调节器非常适合从低真空到高真空的真空工艺设备

AP160M是一种控制器，可根据半导体制造过程中使用的气体，通过自动控制比例电磁阀的开度来自动调节管道中的压力。由于它具有内置压力传感器，因此无需添加外部传感器。

控制压力约为650kPa，控制流速为100kPa压差，有两种接触类型，即500cc / min和3000cc / min。通过通过脉冲宽度调制来控制比例电磁阀，AP160M模型可以提高响应度并消除滞后现象，因此可以在大约1秒钟内达到设定压力。

压力b型接头是1/4“ VCR等效产品，气体接触部分和压力传感器均由金属制成，并且与惰性气体，腐蚀性气体，危险气体等所有气体兼容。除了半导体工艺气体以外，也是可能的。

日本ace半导体自动调节压力控制器AP160M

规格

模型	AP160M
主要用途	对于半导体
目标气体	半导体工艺气体就座气体
入口压力	500kPa以下
耐压	小于1000kPa
压力设定	需要计算机等输入的压力设定值
控制方式	比例电磁纸浆批发
控制压力	0-500kPa
流量	当压差为100 kPa时，有两种类型，即500 cc / min和3000 cc / min。
响应时间	1秒钟达到设定值
输入信号	0 ?? 5VDC连续/关闭
输入信号	R485
外部传感器输入	（4 ?? 20A可能）
输出信号	报警输出RS485.0-5VDC
管件	1/4〃VCR等效
阀座泄漏	10-6Pa ・ m3 /秒以下
准确性	±5kPa（在800kPaFS时）
电源电压	24VDC±10％
目前的消费	200mA以下
工作温度	0-50℃无凝结
面之间的外部尺寸	宽36×深46×高60mm
压力传感器	是（内置）
显示设定装置	没有装备