日本ace适用于半导体制造工艺的压力控制器AP250 / AP500

AP250和AP500是适用于半导体制造工艺等中使用的清洁气体压力控制的大流量型控制器，由气压控制单元（相当于AP100N）和圆顶型调节器单元组成。

　此外，外部安装有压力传感器，来自传感器的信号输入到气压控制单元，气压控制组的阀被开/关控制，以调节调节器中球罩的内部压力自动调节以匹配任何设定的压力值。通过将流量传感器安装到外部，它也可以用作流量控制器。

　AP250的控制流量为5001 / min，AP500的控制流量为2000L / min，两种类型的控制压力约为600kPa。

　压力接头与适用于AP250的1/2“ VCR和适用于AP500的3/4” SWAG等效或等同于用于AP500的3/4“ VCR等效。适用于真空清洁气体，用于导体，惰性气体，腐蚀性气体，危险气体等可以使用。

日本ace适用于半导体制造工艺的压力控制器AP250 / AP500

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