日本pureron腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器PC-601系列

半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并 和少量的水分反应，形成腐蚀生成物。这种物质是产生微粒子造成半导体工艺污染的原因。因此，我们采用了远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金® 开发出这种对应腐蚀性气体的压力传感器PC-601系列。

• 高耐腐蚀性
  对应HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体，气体接触部分采用远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金®，并进行了电解研磨处理，充分发挥了其 出色的耐腐蚀性能力。
• 高精度、高可靠性
  直线性、滞后性、重复精度的影响造成和优拟合线的偏差为±0.25％，具备高精度和高可靠性。
• 测定范围宽
  表压的压力范围从0～172.4KPA（1.76KGf/cm²）到20,684KPa（210KGf/cm²），压的压力范围为0～2,586torr。
• 使用寿命长
  各测量范围都通过了100万次的循环耐久测试。

日本pureron腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器PC-601系列

规格

※所有的表压类型可以连成。