日本fcon质量流量控制器/仪表1000系列-秋山科技（东莞）有限公司手机版

详细介绍

日本fcon质量流量控制器/仪表1000系列

特征

日本fcon质量流量控制器/仪表1000系列

规格

型号：质量流量控制器	C1005	C1020	C1030 / C1050	C1100
型号：质量流量计	M1005	M1020	M1030 / M1050	――――
流量（N2转化流量）	10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM	10,20SLM	30,50SLM	100LM
对应气体类型	各种气体（腐蚀性气体请联系我们）		空气 / N2 / Ar / H2 / CO2 / O2 / He	空气 / N2
阀门类型	NO：常开（不适用于仪表）
控制流量范围	5-99% FS（不适用于仪表）
流量精度	± 2% FS [* ± 1% FS 可用]（精度保证范围 15-35 °C） * 详情请联系我们。
流量设定信号	0.25 至 5VDC（不适用于仪表）
流量输出信号	0-5VDC
再现性	± 0.2% FS			± 0.5% FS
响应时间	≤ 6 秒			≤15秒
所需压差	50-300KPa		200-300KPa
耐压	1MPa (G)
保证工作温度	5-50℃，85%RH以下
外漏	1 × 10 ^-7 Pa ･ m ³ / sec He
安装姿势	未规定（免费）
供电电压、电流消耗	+ 15VDC：60mA，-15VDC：150mA
通讯方式	模拟：0-5VDC
气体接触材料质量	SUS316L、聚四氟乙烯、氟橡胶
密封材料质量	氟橡胶
执行器方式	热量（不适用于仪表）
表面处理	机加工
连接配件	如需 1 / 4in.SWL（等效）、一键式接头和其他接头形状，请联系我们。

* 流量单位“SCCM，SLM”为0℃，1013kPa abs（1atm）标定。
* 请说明您是否希望在 20°C 或 25°C 下校准流量单位“CCM, LM”。